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姓 名：许高斌 |
职 称：教授 |
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职 务：副院长 安徽省MEMS工程技术研究中心主任 |
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所属系：电子科学系、院机关 |
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邮 箱：gbxu@hfut.edu.cn |
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电 话：0551-62919101，0551-62902263 |
个人简介：
男，1970年12月生，中共党员，安徽肥东人，教授，博士生导师（学术博导、工程博导）。1993年、2001年毕业于合肥工业大学应用物理系，分别获学士和硕士学位，2004年毕业于东南大学电子工程系MEMS教育部重点实验室，获工学博士学位，曾在中科院半导体研究所从事高级访问研究。现任合肥工业大学微电子学院副院长，安徽省MEMS工程技术研究中心主任。
近年来在IEEE Electron Device Letters、Nanotechnology、IEEE Sensors Journal、Applied Physics A、Sensors and Actuators、Journal of Micromechanics and Microengineering、Journal of Semiconductors、仪器仪表学报、半导体学报、真空与科学技术学报和中国机械工程等国内外核心期刊上发表学术论文80余篇。相关研究成果应用于MEMS专业设计软件IntenlliSence软件中，其相关研究成果被编著于微米纳米系列丛书《微米纳米器件测试技术》和国际著名出版机构Springer出版的《Micro Electro Mechanical Systems》中。应邀为APCOT’2008（海峡两岸微米纳米技术研讨会，2008，台湾成功大学）分会主席（Session Chair of Bio Micro-Nano Technology）、中国微米纳米技术学会第十一届学术年会（2009，哈尔滨）分会主席和第十二届全国敏感元件与传感器学术会议程序委员会委员（2012，江苏.昆山）等。是IEEE Journal of MicroElectroMechanical Systems、IEEE Sensors Journal等多家国内外学术期刊审稿人，是《传感技术学报》编委，是中国微米纳米技术学会高级会员。曾入选江苏常州龙城英才计划（重点）和徐州“高层次创新创业人才引进资助计划”等创新创业人才计划。是国家重点研发计划、国家自然科学基金、安徽省发改委重大专项与产业规划、安徽省科技重大专项和安徽省高新技术企业认定等评审专家。
研究方向：
MEMS传感器与微纳系统的设计、制造、封装与可靠性，多传感器模块集成与信息融合技术，宽禁带半导体技术
开设课程（本科生、研究生）：
本科生课程：《半导体器件物理》，研究生/博士生课程：《MEMS设计与应用》
科研项目：
一、目前在研的部分科研项目：
1.国家重点研发计划项目：多传感模块融合模型和预警算法，163万元，主持
2.国家重点研发计划项目：微纳传感器失效类型及故障分析方法研究，52万元，子课题负责人
3.安徽省发改委研发创新项目：新能源汽车电控系统SOC芯片开发与产业化，930万，主持
4.企业委托研发项目：MEMS红外热电堆传感器研发，项目经费：100万，主持
二、已完成的部分科研项目：
1.装备预先研究重点项目：****设备可靠性研究
2.装备预研教育部联合基金项目：复杂环境高性能高精度谐振式压力传感器研究
3.国家863计划项目：无线、无源、多参数微纳传感器与系统
4.国家自然科学基金重大研究计划项目：基于改性TiO2纳米管阵列的传感器件的构造研究
5.安徽省科技攻关计划项目：SOI基高性能MEMS传感关键技术研究
6.安徽省重点研发计划项目：工业装备振动监控MEMS加速度传感器研究
7.安徽高校协同创新项目：MEMS热传感芯片关键技术研究
代表成果：
一、部分学术论文：
1. Song Longmei,Xu Enze,Yu Yongqiang,Jie Jianyong,Xia Yu,Chen Shirong,Jiang Yang,Xu Gaobin,Li Dachuang,Jie Jiansheng. High-Barrier-Height Ti3C2Tx/Si Microstructure Schottky Junction-Based Self-Powered Photodetectors for Photoplethysmographic Monitoring,Adv. Mater. Technol.2022, 2200555(1-9).
2. Zhang Hao,Cui Yinghao,Lu Mengxue,Yang Qingyang,Feng Jianguo,Chen Shirong,Yang Xiaoping,Xu Gaobin,Yu Yongqiang.Self-filtered NIR Photodetectors Based on Silicon Micro-holes Array for Stable Heart Rate Monitoring.IEEE Electron Device Letters,2022, 43(12):2129-2132.
3. Liu Jiayang, Lu Mengxue, Cui Yinghao, Sun Yangyang, Ma Yuanming, Guan Qingtian, Ma Mengchao, Xu Gaobin and Yu Yongqiang. Low Dark-current V2CTx/n-Si van der Waals Schottky Photodiode for Hadamard Single-pixel Imaging.IEEE Electron Device Letters, Accepted for publication, 2022.12.
4.Yan Xu, Yuanming Ma, Yongqiang Yu, Shirong Chen, Yajing Chang, Xing Chenand Gaobin Xu. Self-powered, ultra-high detectivity and highspeed near-infrared photodetectors fromstacked–layered MoSe2/Si heterojunction.Nanotechnology, 32 (2021) 075201
5.Yang Zhaohui,Xu Gaobin,Chen Shirong,Feng Jianguo;Ma Yuanming;Chen Xing.High-detectivity Infrared Detector Based on Dual-layer Thermopile,Proceedings of the 16th Annual IEEE International Conference on Nano/Micro Engineered and Molecular Systems, NEMS 2021,1574-1578.
6.Lu Zhijian, Xu Yan, Yu Yongqiang, Xu Kewei, Mao Jie, Xu Gaobin, Ma Yuanming, Wu Di, Jie Jiansheng. Ultrahigh speed and broadband few-layer MoTe2/Si 2D-3D heterojunction-based photodiodes fabricated by pulsed laser deposition. Advanced Functional Materials, 2020, 30(9): 1907951(1-9)
7. Wang Chunxiao, Dong Yuan, Lu Zhijian, Chen Shirong, Xu Kewei, Ma Yuanming, Xu Gaobin, Zhao Xiaoyun, Yu Yongqiang*, High responsivity and high-speed 1.55 um infrared photodetector from self-powered graphene/Si heterojunction, Sensors and Actuators A: Physical, 2019, 291: 87-92.
8.Xu Gaobin, Yu Fuyuan, Guo Kai, Shen Fei, Zhou Hongping, Sun Yongxuan, Zhang Xudong, Yin Zhiping, Guo Zhongyi. Tri-band polarization convertor based on the multi-layer metamaterial. Applied Physics A. 2017, 123(10):654(1-9).
9.Xu Gaobin, Xi Ye, Chen Xing, Ma Yuanming. Application research on the sensitivity of porous silicon. Journal of Semiconductors, 2017, 38(9): 094003(1-8).
10. 许高斌,花翔,王亚洲,马渊明,陈兴.基于Fabry-Perot腔的高精度MEMS加速度传感器.真空科学与技术学报, 2021, 41(5):500-505
11. 杜林云,许高斌,花翔,陈兴,马渊明,于永强.用于激光雷达的双层梳齿驱动MEMS扫描镜.电子测量与仪器学报, 2021, 35(5):8-15
12. 许高斌,王亚洲,陈兴,马渊明,张文晋.纳米压电梁谐振式加速度计.电子测量与仪器学报, 2020, 34(10): 149-155.
13. 许高斌,陈诚,陈兴,马渊明,于永强,张倩.一种用于复杂环境下的高精度微型谐振式压力传感器.真空科学与技术学报, 2019, 39(11): 980-988
14. 许高斌,余智,徐礼建,马渊明,陈兴.复杂环境电容式微加速度传感器可靠性分析.电子测量与仪器学报, 2019, 33(8): 154-159.
二、部分授权发明专利：
1. 许高斌,花翔,杜林云,马渊明,陈兴.一种光学式MEMS加速度传感器及其制备方法，授权日期：2022.03.18,专利号:ZL 202011125893.4
2. 许高斌,杨朝晖,陈士荣,陈兴,马渊明,王琪,李海生.一种MEMS热电堆红外探测器及制备方法，授权日期：2021.11.30,专利号：ZL202010996100.X
3. 许高斌,徐枝蕃,陈兴,马渊明,杨海洋.静电激励/压阻检测硅微谐振式压力传感器闭环自激系统，授权日期：20201117,专利号：ZL201810112456.5
4.许高斌,王超超,陈兴,马渊明,胡海霖.一种压电式MEMS加速度传感器及其制备方法,授权日期：2020.04.21,专利号：ZL201811021723.4
5. 许高斌,胡海霖,陈兴,马渊明,王超超.一种谐振式压力传感器的制备方法,授权日期：2020.01.03,专利号：ZL 201810209589.4
6. 许高斌,杨海洋,马渊明,陈兴,徐枝蕃.一种用于MEMS器件隔振的双层隔振结构及制备方法,授权日期：2019.12.31,专利号：ZL 201810311807.5
7.许高斌,王月媖,陈兴,马渊明,李坤.一种用于强磁场测量的梳齿状微传感器及制备方法,授权日期：2019.07.12,专利号：ZL 201710408515.9
8. 许高斌,王月媖,陈兴,马渊明,李坤.一种用于强磁场测量的平面扭转式微传感器,授权日期：2019.04.30,专利号：ZL 201710408165.6
获奖荣誉：
1. 2006年度高等学校科学技术奖（自然科学一等奖），项目名称：多晶硅电热微执行器模型、制备与表征，个人证件编号：2006-***
2. 2009年度江苏省科技进步奖（二等奖），项目名称：微机电系统模型、模拟及应用，个人证书编号：2009-*-*-**-**
