合肥工业大学机械工程学院

教授，博导，先后在英国卢瑟福国家实验室、美国密歇根大学访问研究，长期从事真空封装、稀薄气体动力学和微纳制造等方向研究。主持国家自然基金面上项目（3项）、国家重点研发计划（2项）、科技部863探索导向类、基础科研、预研项目等，在Measurement、Opt. Laser Technol.、J. Mater. Chem.、Vacuum等国内外著名学术期刊发表论文50余篇，主要研究成果已在深空探测、计量基准和同步辐射光源等国家重大科学工程中取得应用。担任中国计量学会真空计量专委会委员，中国真空学会质谱与检漏专委会副主任委员，多个国际\国内期刊编委、审稿人。

1.工作经历：

2005.8-2006.8英国卢瑟福国家实验室 访问学者

2005.12-2010.12合肥工业大学机械工程学院副教授

2010.12-至今合肥工业大学机械工程学院教授

(2016.9-2017.9美国密歇根大学安娜堡分校访问学者)

2.教育经历：

1992.9-1996.7合肥工业大学真空技术及设备专业本科

1996.9-1999.5合肥工业大学流体机械工程(真空)专业硕士

2001.9-2005.6中国科学技术大学国家同步辐射实验室博士

面向航天、大科学工程和半导体等国家重大需求和前沿领域，与国内外一流团队合作，围绕真空问题探索深层科学机制和解决方案，包括：

1、 基于微纳制造技术的真空器件：采用微纳制造技术，发展极小气体流量控制元件、新型真空获得与测试器件以及超高真空腔体实现新方法；

2、 跨流态气体动力学仿真技术：针对大科学装置和半导体装备，通过气体空间传输规律特性，为关键部件设计和真空布局提供依据。

3、 超洁净真空技术：真空环境下颗粒的传输行为以及测试方法；超高真空残余气体分析与抑制。

国家级科研项目：

1） 国家重点研发计划(No. 2023YFC2205702)，高性能真空维持与实现技术研究，2023-12至2027-11，主持

2） 国家重点研发计划子课题(No. 2021YFC2202504)，电荷管理装置系统集成及性能评估，2021-11至2026-10，主持

3） 国家自然科学基金面上项目(No. 62271187)，再吸附效应下狭长空间高真空封装过程的迟滞放气机理，2023-01至2026-12，主持

4） 国家自然科学基金面上项目(No. 61871172)，广域克努增数下纳流控通道型流导元件气体传输多重机理，2019-01至2022-12，主持

5） 国家自然科学基金面上项目(No.61574053)，聚合物纳流控通道的溶剂蒸发辅助自封闭机理研究，2016-01至2019-12，主持

6） 预研项目，基于稀薄气体动力学的微量气氛流态分析和控制技术，2020-07至2022-06，主持

7） 技术基础科研重大项目，气体微流量测量技术研究，2017-01至2019-12，参加

研究生培养

招收流体机械及工程、动力工程、机械等专业硕、博士研究生，通过高层次项目和良好科研平台，与国内外一流团队的学术交流和联合培养，塑造学生独立的科研攻关能力和国际化视野。研究生获得中国真空学会、国家奖学金十余人次，毕业去向为航天、国家大科学工程相关的科研院所以及国内外著名半导体和高端仪器等企业。